氣體質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償，其核心工作原理與應(yīng)用領(lǐng)域如下：
一、工作原理
1、熱式原理
恒溫差法：傳感器含兩個(gè)鉑熱電阻，一個(gè)加熱至恒定溫差(速度傳感器)，另一個(gè)檢測(cè)氣體溫度。氣體流經(jīng)時(shí)帶走熱量，維持溫差所需的電流增量與質(zhì)量流量成正比。
恒功率法：保持加熱功率恒定，通過(guò)測(cè)量溫度差結(jié)合氣體定壓比熱容計(jì)算質(zhì)量流量。
適用性：適合低流速、小管徑場(chǎng)景(如半導(dǎo)體制造、實(shí)驗(yàn)室微流量檢測(cè))。
2、科里奧利原理
氣體流經(jīng)高頻振動(dòng)的測(cè)量管時(shí)產(chǎn)生科里奧利力，導(dǎo)致管道相位偏移，偏移量與質(zhì)量流量成正比。
優(yōu)勢(shì)：精度高，不受氣體物性(密度、粘度)影響。
局限：成本較高，體積較大，適用于高精度需求場(chǎng)景。
二、應(yīng)用領(lǐng)域
1、工業(yè)過(guò)程控制
能源與化工：天然氣貿(mào)易結(jié)算、化工廠反應(yīng)氣體配比、氨氣流量監(jiān)測(cè)。
冶金與電力：高爐煤氣計(jì)量、鍋爐燃?xì)?空氣送風(fēng)控制。
2、高精度與特殊場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造：蝕刻氣、沉積氣等工藝氣體的精準(zhǔn)控制。
環(huán)保監(jiān)測(cè)：煙道氣排放計(jì)量、沼氣回收利用。
實(shí)驗(yàn)室研發(fā)：微流量氣體實(shí)驗(yàn)、流體動(dòng)力學(xué)研究。
3、公用設(shè)施管理
燃?xì)夥峙溆?jì)量、管道氣體泄漏檢測(cè)、水處理中氣體投加控制。
三、核心優(yōu)勢(shì)
1、直接輸出質(zhì)量流量：避免體積流量計(jì)所需的密度換算和溫壓補(bǔ)償。
2、高適應(yīng)性：適用于腐蝕性氣體、混合氣體及工況波動(dòng)的復(fù)雜環(huán)境。
3、寬量程比：部分熱式流量計(jì)可覆蓋低速至高速的流量范圍。
四、選型關(guān)鍵
1、氣體特性：潔凈度、腐蝕性、比熱容。
2、工況參數(shù)：管徑尺寸、流量范圍、溫度/壓力極限。
提示：在腐蝕性氣體或?qū)挏貕翰▌?dòng)場(chǎng)景中，熱式流量計(jì)需根據(jù)氣體 校準(zhǔn)，科里奧利流量計(jì)則更適合高精度貿(mào)易結(jié)算。
更新時(shí)間：2025-06-17
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